Buďte vítáni na stránkách laboratoře litografie
Oddělení Spintroniky a Nanoelektroniky FZÚ AV ČR


po kolaudaci
Zprovoznění vzduchotechniky čistých prostor fotolitografického pracoviště.

 

Postup výstavby laboratoře:

- zpracování projektu:    říjen 1998
- kolaudace VZT:    červenec 1999
- zprovoznění fotolitografie hybridních struktur:   září 1999
- zprovoznění fotolitografie monolitických struktur:   srpen 2000

- zpracování dokumentace k vybudování nových čistých prostor pro elektronovou nanolitografii:   září 2006
- kolaudace vybudovaných nových čistých prostor EBL:   říjen 2007

 

Přechod na stránku s fotodokumentací laboratoře optické litografie zde.
Provozní řád čistých prostor vymezuje podmínky a způsob práce v laboratoři fotolitografie, které jsou nezbytné pro udržení jejího prostředí ve funkčním stavu.

Pracoviště má prostředky k vlastnímu vytváření topologických návrhů jednodušších struktur, které lze použít jako podklad pro přípravu fotolitografických masek.
Litograficky lze zpracovávat substráty z polovodičových i jiných materiálů.
Z operací navazujících na litografii je laboratoř dále zaměřena především na některé technologie montáže a kontaktování experimentálních vzorků.

Přechod na ukázky některých vzorků připravených v laboratoři zde.



Kontakt s pracovištěm:

    Telefon:     220318-linka
Karel Hruška -       hruskak@fzu.cz      -527, (-460, -492)
Stanislav Hucek -       hucek@fzu.cz      -413, (-460, -492)
Vlastimil Jurka -       jurka@fzu.cz      -527, (-460, -492)
Zdeněk Výborný -       vyborny@fzu.cz      -589, (-413, -460, -492)


Jiné kontakty a odkazy:


- Depozice tenkých vrstev:
e-mail firmy TTS - Thin film Technological Service Co.


- The Semiconductor Subway
Massachusetts Institute of Technology


- NNIN Sites
National Nanotechnology Infrastructure Network


- PRISM
Princeton Institute for the Science and Technology of Materials



- Domovská stránka - Oddělení fyziky povrchů a rozhraní FZÚ AV ČR

- Magnetic Semiconductors Web Project


- Domovská stránka FZÚ AV ČR   (přechod na seznam oddělení)


     
- Telefonní čísla Ústavu   

- webmail.fzu.cz  


- Přenos dat přes "ftp://ftp.fzu.cz/pub/receive/J/Jmeno" (přístup k uploadu zde)


- Vyhledávací služby  ,  Google  ,  Dogpile


- Další odkazy  




Aktualizace: 10.3.2010      

 

   English